FEM Thermodynamik

Die nachfolgenden Beispiele zeigen exemplarische Simulationsberechnungen aus dem Bereich Thermodynamik.

Simulation eines mikromechanischen Membranheizers

Temperaturverteilung eines mikromechansichen Membranheizers bei einer Versorgungsspannung von 3V (Platin-Heizer auf Silizium-Nitrid-Membran, Membrangröße 2,5mm^2).

Mittlere und maximale Temperatur auf der Membran in Abhängigkeit von der Versorgungsspannung.

 

Simulation eines Drucksensor-Gehäuses

Mises Vergleichsspannung der Gehäuse-Membran bei einem Außendruck von 0,5bar (Gehäuse ölgefüllt, Durchmesser 4mm).

Interner Druck in Abhängigkeit vom Umgebungsdruck für verschiedene Kompressionsmodule.

Interner Druck in Abhängigkeit von Temperaturvariation.